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四氯化锗(GeCl4)水解生成二氧化锗(GeO2),其含水量约为20％～26％.使用传统烘箱烘干、脱水,烘烤周期长(48 h),电耗大,GeO2产品的质量不稳定.采用微波炉取代普通烘箱,脱水周期短到2 h,每年节电1.28×104 kWh.结果表明:采用微波辐射工艺可以使GeO2的含水量降低到0.6％,并且生产的产品质量稳定,满足国家标准GB11069-89.