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本文给出了氧化硅厚度的计算公式，讨论了光电子发射角和晶体方位角的选择，介绍了硅片上超薄氧化硅的XPS测量方法。
用XPS法精确测量硅片上超薄氧化硅的厚度
【摘 要】
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本文给出了氧化硅厚度的计算公式，讨论了光电子发射角和晶体方位角的选择，介绍了硅片上超薄氧化硅的XPS测量方法。
【机 构】
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中国科学院化学研究所,北京,100080
【出 处】
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2005年全国粉体设备-技术-产品信息交流会
【发表日期】
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2005年9期
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