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相位误差跟踪控制是在控制回路对被控对象进行超前相位补偿，使控制回路呈现零相位特性，因而成为位置闭环跟踪控制器的重要设计方法，尤其在对被控对象的频响要求较高时。该文较系统地探讨了零相位误差跟踪控制器的原理及设计方法，分析了两类非最小相位系统的零相位误差跟踪控制器的特性及存在问题，并针对该特性提出了一种控制结构，它较好地解决了以往零相位误差跟踪控制系统中可能存在的不稳定及噪声干扰问题。通过对直线电机微进给装置的控制证明了该控制系统具有较好的稳定性和跟踪性能。