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本文阐述了在商用原子力显微镜基础上自行建立的低频高分辨率扫描探针声学显微术(LF-SPAM)的工作原理、成像特点及其在铁电材料、压电材料和生物材料的微结构表征等方面的应用，显示了该新型探针声学显微术不仅成像工作频率低(1～30 kHz)，分辨率高(～5 am)，而且在无机材料、有机材料及生物材料中纳米尺度弹性结构及物理性能表征等方面具有重要的应用潜力。