论直拉硅单晶生长(CZ)工艺中的节电(能)技术——直拉硅单晶生长的新一代热场设计

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<正>在改革开放、社会主义市场经济的大环境下,在电子信息产业大发展,尤其在新能源硅光伏产业井喷式的大发展拉动下,我国的半导体硅晶体生长技术与设备能力获得了世界上最快的发展速度。目前,我国已拥有能拉制6″以上的直拉硅单晶炉10 000台以上,一次投料275公斤、450公斤,甚至一次投料600公斤、800公斤的定向凝固结晶炉3 500台以上及从国外进口的多线切方、切片机10 000台以上。我国已经是世界上上述三类设备最多的国家。我们的硅晶体、硅片生产
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