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变形镜是自适应光学系统的关键部件。本文提出了基于MEMS技术的一种新型的带透明电极的可变形反射镜。反射镜由静电驱动，包含超薄硅膜镜面、驱动电极阵列及透明电极三部分.文章给出了透明电极、超薄镜面、驱动电极的制作工艺以及他们的工作特性，静态测试结果表明透明电极的引入能更好地控制镜面的形变。镜面中心最大变形量可达19μm，最大有效反射面积可达16mm2，且变形镜驱动电压低，因此能很好地改善整个自适应光学系统的性能。