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介绍了表面分析技术在气相缓蚀剂研究中一些应用状况,展望了气相缓蚀剂研究中表面分析技术的应用趋势。随着气相缓蚀剂理论研究的深入,应用高灵敏和高精度的表面分析技术,采用原位测试手段,发展多种分析技术联用的方法,对揭示金属表面气相缓蚀膜的结构和性能、深入了解气相缓蚀剂的作用机理具有重要的意义。