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众多电子信息材料晶体,都采用直拉法,从熔体中生长.本文探讨了生长大直径晶体中出现的几个问题.特别是在具有一定过冷度和向熔体空间引入磁感应强度条件下,对晶体生长过程中有关环境相的研究,不但具有学术意义,而且具有重要的实用价值.
电子信息材料晶体生长问题
【摘 要】
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众多电子信息材料晶体,都采用直拉法,从熔体中生长.本文探讨了生长大直径晶体中出现的几个问题.特别是在具有一定过冷度和向熔体空间引入磁感应强度条件下,对晶体生长过程中
【机 构】
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河北工业大学材料学院(天津)
【出 处】
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第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会
【发表日期】
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2003年期
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