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飞秒激光改性辅助刻蚀是近年来流行的加工微通道的方式，已有的研究发现激光参数和刻蚀环境：如偏振态、激光能量、腐蚀液温度、浓度等，会决定材料的刻蚀速率以及刻蚀深度。本文针对当前研究的热点，提出了双波长脉冲序列改性辅助刻蚀微通道的方法。文中使用双波长脉冲序列对石英玻璃进行改性，并发现合理选择波长组合的脉冲序列可以显著提高玻璃的刻蚀速率和刻蚀深度，从而达到高效率加工微通道的目的 。