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采用厚膜工艺将厚膜NTC热敏电阻和高分子湿敏电阻制作在同一基片上构成一体温湿度传感器,它具有体积小、响应速度快、测试精度高和易于集成化等特点。该文介绍了该传感器的设计原理、制作工艺、温湿度特性及影响因素,讨论了根据湿度传感器的温度漂移来调整负热敏电阻的参数,对湿度传感器进行温度补偿,从而提高了湿度测量精度。