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本文报道用共蒸发法并辅助原位退火在单晶硅上制备稀土硅化物外延层.利用2.5MeV<+>Li<7>卢瑟福背散射研究了外延层中的原子浓度及其分布,用红外透射谱和喇曼光谱测量得到了不同退火温度下这些稀土硅化物的红外特征吸收和喇曼特征峰,结合X-射线衍射测量研究了这些稀土硅化物由非晶相的转变过程.
稀土(Yb,Gd)硅化物的固相外延与红外、喇曼光谱研究
【摘 要】
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本文报道用共蒸发法并辅助原位退火在单晶硅上制备稀土硅化物外延层.利用2.5MeVLi卢瑟福背散射研究了外延层中的原子浓度及其分布,用红外透射谱和喇曼光谱测量得到了不同退火
【机 构】
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兰州大学物理系(兰州)
【出 处】
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第二届全国金属功能材料第九届全国非晶态材料和物理第三届全国稀土永磁材料联合学术研讨会
【发表日期】
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2001年期
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