【摘 要】
：
本文采用基于计算流体力学(CFD)的数值计算方法,对自制的生长ZnO的MOCVD(金属有机物化学气相淀积)反应室内的流场进行了三维数值模拟和分析.数值模拟采用有限体积差分方法对
【机 构】
：
江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京大学物理系,南京,210093
【出 处】
：
第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
论文部分内容阅读
本文采用基于计算流体力学(CFD)的数值计算方法,对自制的生长ZnO的MOCVD(金属有机物化学气相淀积)反应室内的流场进行了三维数值模拟和分析.数值模拟采用有限体积差分方法对系统的控制方程进行离散.通过解决流体的能量,动量,质量和物种守恒方程,本文主要研究了气体入口的倾斜角度对衬底表面淀积的ZnO的分布的影响,并研究了不同的衬底位置对生长速率的影响.计算结果给ZnO-MOCVD系统结构的优化提供了一个有力的参考依据.
其他文献
在东欧一个国家里有过这样一件事:两名彪壮的警察押着一个金发碧眼的女郎走进一条僻静的小巷。突然,女郎飞起一拳击昏了左边的警察;右边的警察刚想扑上去,只觉脚下一轻,已被
目的：研究非创伤性股骨头缺血性坏死的影像学诊断价值,并进行临床病理分析;探讨其病因、发病机理、病理沿变过程及组织学改变等.方法：对116例(共计148髋)非创伤性股骨头缺血性
目的：探讨强直性脊柱炎(AS)骶髂关节改变的CR、CT及MRI诊断价值.方法：回顾性分析89例经临床证实的AS患者的骶髂关节CR、CT及MRI表现特点,包括分级、部位和数量、钙化、关节间隙
目的：对激素性股骨头缺血性坏死的临床治疗.方法：根据患者的年龄、体质、临床症状、病程及放射诊断,临床分为肾虚血瘀、脾肾阳虚、气血两虚、气滞血瘀等四型,采用内服中药、外
TKA虽是一项成功的外科治疗手段,但同时也是一项要求较高的综合外科技术.不仅要求术者对膝关节的功能解剖、疾病病理变化有全面的认识,而且还要能正确选择适应证,并能熟练使
桡尺骨远端骨折是临床上较为多见的一种骨折.因其骨折断端移位明显;手法整复有一定难度.笔者从1995年-2005年供收治38例此类患者,均采取了分骨、折顶手法复位,分别给予石膏、
自2000～2002年,作者对19例采用小腿内侧交腿皮瓣转移术治疗的小腿开放性骨折并皮缺损病人进行了程序化护理,取得满意效果.本文介绍了其临床资料、治疗方法、治疗结果。
目的:探讨等离子刀在颈椎间盘突出治疗中的应用.方法:C臂X光机引导下准确穿刺病变的椎间隙,置入等离子汽化棒,连接主机,进行消融.结果:48例接受手术病人,采用odom分类系统评
临床上,各种颈椎疾病很多,如:颈椎病、颈椎间盘突出症、颈椎不稳、发育性或退变性颈椎管狭窄症、颈椎后纵韧带钙化症(OPLL)、颈椎黄韧带肥厚或钙化、颈椎骨折脱位、无骨折脱
随着医学的发展,微创脊柱外科成了脊柱外科的一大发展方向.近年来,已经有了许多微创技术用于脊柱外科手术,其技术也在不断地完善和发展.经皮激光椎间盘减压术(PLDD)也属于其