【摘 要】
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基于飞秒激光与熔石英材料相互作用机理,建立了飞秒激光抛光熔石英材料的去除函数预测模型,采用波长为800nm的飞秒激光烧蚀熔石英玻璃进行了实验验证。利用光学轮廓仪、扫描
【机 构】
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中科院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室; 中国科学院大学;
【基金项目】
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国家重大专项和中科院青年创新促进会
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基于飞秒激光与熔石英材料相互作用机理,建立了飞秒激光抛光熔石英材料的去除函数预测模型,采用波长为800nm的飞秒激光烧蚀熔石英玻璃进行了实验验证。利用光学轮廓仪、扫描电镜及原子力显微镜对飞秒激光抛光熔石英玻璃的去除函数进行了分析,结果表明,去除函数深度及去除体积在较大范围内与激光能量密度成线性关系;飞秒激光烧蚀的去除函数为旋转对称近高斯型函数,且表面光滑;去除效率高,单脉冲能量仅为30μJ时,去除体积达到15.4μm~3/ms;单脉冲能量5μJ时,烧蚀直径为4.38μm,深度仅5.21nm,通过控制激光的能量可以实现纳米级精度加工的深度。
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