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本文介绍了采用焊球工艺的三维立体集成技术,分析了三维立体集成对电气性能的影响,提出了宽带垂直互连形式及相关工艺方法,通过X波段T/R模块的设计实例,验证了设计和工艺方法的有效性。
3D-SiP T/R模块集成技术
【摘 要】
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本文介绍了采用焊球工艺的三维立体集成技术,分析了三维立体集成对电气性能的影响,提出了宽带垂直互连形式及相关工艺方法,通过X波段T/R模块的设计实例,验证了设计和工艺方法
【机 构】
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北京无线电测量研究所;
【发表日期】
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2004年期
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