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集成电路制造工艺的Cpk及6σ水平评价

来源 :中国电子学会可靠性分会第十三届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：rockwjm

【摘 要】

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本文分析了一些计算Cpk不准确的方法,进而提出了正确的优化计算方法,同时阐述Pσ设计,以及其对于成品率,DPMO的相互换算的方法,并且自行开发了相应软件计算Cpk,以及在高计算

【作 者】

：

曾臣 贾新章 

【机 构】

：

西安电子科技大学微电子学院,西安,710071

【出 处】

：

中国电子学会可靠性分会第十三届学术年会

【发表日期】

：

2006年期

【关键词】

：

集成电路制造工艺 优化计算方法 成品率 σ设计 软件计算 精度要求 换算 开发 

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论文部分内容阅读

本文分析了一些计算Cpk不准确的方法,进而提出了正确的优化计算方法,同时阐述Pσ设计,以及其对于成品率,DPMO的相互换算的方法,并且自行开发了相应软件计算Cpk,以及在高计算精度要求下,实现Pσ设计与成品率,DPMO相互间的换算.

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