【摘 要】
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电子束物理气相沉积(EB-PVD)具有沉积速率高、成分可控和组织致密等特点，可以广泛应用于制备航空发动机热障涂层、微叠层材料和功能梯度材料等新材料新结构。本文概述了电子束物理气相沉积设备的开发设计过程和主要性能，介绍了电子束物理气相沉积技术在热障涂层、叶片修复、高温定向凝固等方面的研究进展。
【出 处】
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第十一届全国固态相变、凝固及应用学术会议
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电子束物理气相沉积(EB-PVD)具有沉积速率高、成分可控和组织致密等特点，可以广泛应用于制备航空发动机热障涂层、微叠层材料和功能梯度材料等新材料新结构。本文概述了电子束物理气相沉积设备的开发设计过程和主要性能，介绍了电子束物理气相沉积技术在热障涂层、叶片修复、高温定向凝固等方面的研究进展。
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