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表面钝化是制作MCT红外器件的关键工艺之一，文章对不同的钝化方法及复合钝化膜进行了讨论，并给出了器件制作效果及对现有问题的讨论。
MCT红外器件表面钝化
【摘 要】
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表面钝化是制作MCT红外器件的关键工艺之一，文章对不同的钝化方法及复合钝化膜进行了讨论，并给出了器件制作效果及对现有问题的讨论。
【机 构】
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华北光电技术研究所(北京)
【出 处】
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第十三届全国红外科学技术交流会
【发表日期】
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1998年期
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