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硅基半导体工艺近年来取得了快速的发展,其晶体管的工作频率已经达到了太赫兹频段。基于硅基工艺的毫米波太赫兹集成电路已经在通信、雷达、光谱学以及成像等领域表现出了极好的应用前景。本文概要介绍了国内外硅基毫米波太赫兹集成电路的发展现状以及所面临的主要问题,并给出了中国科学技术大学集成电路设计团队近期在硅基毫米波太赫兹集成电路设计领域所取得的最新研究进展。