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文中对GATAN 691型离子抛光仪真空系统及离子源故障的维修实例进行了说明.详述了故障现象,分析了故障的原因,并给出了相应的处理方法.
GATAN 691型离子抛光仪故障分析与处理
【摘 要】
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文中对GATAN 691型离子抛光仪真空系统及离子源故障的维修实例进行了说明.详述了故障现象,分析了故障的原因,并给出了相应的处理方法.
【机 构】
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武汉钢铁(集团)公司研究院,湖北 武汉,430080
【出 处】
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第五届中西部地区理化检验学术年会暨实验室主任经验交流会
【发表日期】
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2014年期
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