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高纯超细的碳化硅粉体是制备高性能碳化硅器件的重要前提。目前工业生产中普遍采用的碳化硅粉体合成方法是碳热还原法。随着胶体化学、大功率激光器和热等离子体技术的不断发展,出现了很多新的制备工艺,如溶胶-凝胶法、激光诱导化学气相沉积法和等离子体法等。本文重点总结了近年来碳化硅粉体合成工艺的最新进展,并讨论了存在的主要问题和今后的发展方向。