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在众多等离子体源中,采用裸露金属电极结构的大气压射频辉光放电(Radio Frequency Atmospheric Pressure Glow Discharge,RF APGD)等离子体源可以使用氦气、氩气等惰性气体为工作气体产生放电电压低、安全性高、均匀性和稳定性好的等离子体.因此,RF APGD将在等离子体先进材料加工、生化清洗、消毒灭菌、微生物诱变育种及其它领域有着广阔的应用前景.