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本文讨论运用氦质谱检漏技术对高真空大容器进行检漏时,真空系统中检漏仪连接方式对检漏灵敏度的影响,介绍了减小系统检漏灵敏度影响因素的方法.
大容器氦质谱检漏技术的应用
【摘 要】
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本文讨论运用氦质谱检漏技术对高真空大容器进行检漏时,真空系统中检漏仪连接方式对检漏灵敏度的影响,介绍了减小系统检漏灵敏度影响因素的方法.
【机 构】
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中国工程物理研究院(四川绵阳)
【出 处】
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中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会.中国计量测试学会真空校准专委会市第六届年会
【发表日期】
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2002年期
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