【摘 要】
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提出了一种的基于悬臂梁结构的双光纤光栅二维加速度传感器.通过将两支光纤光栅传感器与悬臂梁有效固定,该传感器可以实现加速度信号大小和方向的同时检测.通过理论分析,给出了该加速度传感器的加速度响应和固有频率.实验结果显示:该传感器在X方向的加速度灵敏度为40pm/g,Y方向的加速度灵敏度为18pm/g,固有频率在100Hz左右.实验结果与理论分析吻合的很好.
【机 构】
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中国科学院半导体研究所光电系统实验室,北京100083 中国科学院半导体研究所光电系统实验室,北京
【出 处】
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第十二届全国敏感元件与传感器学术会议
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提出了一种的基于悬臂梁结构的双光纤光栅二维加速度传感器.通过将两支光纤光栅传感器与悬臂梁有效固定,该传感器可以实现加速度信号大小和方向的同时检测.通过理论分析,给出了该加速度传感器的加速度响应和固有频率.实验结果显示:该传感器在X方向的加速度灵敏度为40pm/g,Y方向的加速度灵敏度为18pm/g,固有频率在100Hz左右.实验结果与理论分析吻合的很好.
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