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会议论文
金属铝合金侵蚀研究
金属铝合金侵蚀研究
来源 :中国电子学会第八届青年学术年会暨中国电子学会青年工作委员会成立十周年学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:busanbusan
【摘 要】
:
本文研究了在半导体生产中出现的金属铝合金侵蚀现象,分析了金属侵蚀的机理,最后给出了金属侵蚀的防护方法.
【作 者】
:
陈志勇
彭力
莫科伟
【机 构】
:
无锡微电子科研中心第二研究室,214035
【出 处】
:
中国电子学会第八届青年学术年会暨中国电子学会青年工作委员会成立十周年学术研讨会
【发表日期】
:
2002年期
【关键词】
:
金属侵蚀
铝合金
防护方法
半导体
生产
机理
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本文研究了在半导体生产中出现的金属铝合金侵蚀现象,分析了金属侵蚀的机理,最后给出了金属侵蚀的防护方法.
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