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本文从铟膜制备、铟柱成形两方面介绍了一种铟柱制备工艺.采用该工艺可制备满足128×128混合式非制冷热释电焦平面器件倒装互连的铟柱.
128×128混合式非制冷热释电焦平面铟柱制备技术研究
【摘 要】
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本文从铟膜制备、铟柱成形两方面介绍了一种铟柱制备工艺.采用该工艺可制备满足128×128混合式非制冷热释电焦平面器件倒装互连的铟柱.
【机 构】
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昆明物理研究所(昆明)
【出 处】
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2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会
【发表日期】
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2003年期
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