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Er离子注入Si的微结构及其电特性分析
【机 构】
:
中国科学院微电子中心
【出 处】
:
第六届全国电子束离子束光子束学术年会
【发表日期】
:
1991年期
其他文献
详细描述了离子注入技术在泥浆泵缸套表面改性中研究和应用。提出了离子注入高铬铸铁缸套表面改性的机制,通过样品实验和现场实验得到最佳离子注入工艺。
以具有抗根肿病基因CRb的大白菜‘CR Shinkii DH’系为抗源,通过分子标记辅助选择选育出大白菜优良自交系‘BJN3’的9份抗根肿病近等基因系。通过CRb基因侧翼标记TCR01和TCR0