基于MBE的Ge-Graphene-Ge的2D/3D材料异质集成

来源 :第十二届全国分子束外延学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hsxy8848
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在Ge(110)衬底CVD生长的石墨烯上,利用分子束外延技术(MBE)获得了Ge-Graphene-Ge的异质结构,通过原位反射高能电子衍射(RHEED)实时监控外延生长过程和晶体属性,使用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)研究了形貌特征。开始时可同时观测到石墨烯和Ge的图形,随着Ge外延层不断变厚,石墨烯信号逐渐减弱至25分钟时基本完全消失,最终呈现点状与环状共存的形态表明多晶与单晶共存。在低温(250℃)时,则表现为完全多晶,而高温时(470℃)单晶比例显著增加。SEM观测结果与RHEED基本一致。同时观测到,在中间温度时,外延形成的Ge纳米颗粒会沿着石墨烯的褶皱排列成纳米墙结构。外延层晶向表征和整体结构的电学特性研究等相关工作仍在进行中。
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