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采用磁控溅射的方法制备碳膜和CrCuN镀层，考察了两者的摩擦学性能。结果表明：碳膜的硬度最高可到15.9，与GCr15组成摩擦副时，摩擦系数<0.25;载荷由10 N增大到40 N，碳膜的摩擦系数由约0.2降低到0.1;摩擦过程中形成转移膜，使得碳膜的摩擦系数较低;CrCuN镀层摩擦系数0.4-0.6。
随着载荷的增大，摩擦系数增加。合金元素Ti形成TiC相增加碳膜的硬度(15.9)，但TiC硬质颗粒引起磨粒磨损(f=0.18);合金元素Cr能够软化碳膜(8.2)，摩擦系数低(f=0.10)，比磨损率小于含Ti碳膜。Cr主要以Cr单质、CrCx、CrO形式存在;非晶碳膜的耐磨性能优于CrCuN镀层。