【摘 要】
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为了提高晶体硅太阳电池的光电转换效率,研究了等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的SiNx∶H以及热氧化SiO2的双层表面钝化及减反射薄膜对电池性能的影响,并与单层的PECVD SiNx
【机 构】
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中国科学院电工研究所,北京,100190
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为了提高晶体硅太阳电池的光电转换效率,研究了等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的SiNx∶H以及热氧化SiO2的双层表面钝化及减反射薄膜对电池性能的影响,并与单层的PECVD SiNx∶H薄膜进行了对比。研究结果表明这两种方法都对P型晶体硅基片以及n+发射极都具有较好的钝化效果,但是双层结构不仅具有较好的表面钝化效果,而且在经过短时的高温氧化工艺之后,还能够保持晶体硅材料的高的体寿命值(＞20μs),从而获得较高的转换效率。
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