【摘 要】
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精密光栅测量传感器作为数控机床运行位置的测量、闭环反馈控制元件，是精密、超精密数控机床的关键基础性功能部件，也是计量元件之一，在精密、超精密制造和计量测试领域有着不可替代的作用。绝对式光栅传感器由于其不受电源断电的限制以及易实现高速测量，在数控系统应用愈来愈广泛，目前国内尚无成熟产品出现。绝对式光栅编码技术是绝对式光栅传感器的核心内容，格雷码、伪随机序列、均布式等常用绝对位置编码难以满足单码道无限
【出 处】
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中国仪器仪表学会第十六届青年学术会议
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精密光栅测量传感器作为数控机床运行位置的测量、闭环反馈控制元件，是精密、超精密数控机床的关键基础性功能部件，也是计量元件之一，在精密、超精密制造和计量测试领域有着不可替代的作用。绝对式光栅传感器由于其不受电源断电的限制以及易实现高速测量，在数控系统应用愈来愈广泛，目前国内尚无成熟产品出现。绝对式光栅编码技术是绝对式光栅传感器的核心内容，格雷码、伪随机序列、均布式等常用绝对位置编码难以满足单码道无限长的要求。多进制编码的可以用较短的码字表示更多的等级，根据多进制编码的特点，展开M进制编码方法研究，实现M进制码的快速编码和高速解码，解决绝对式光栅长度测量受限的难题，发展具有自主知识产权的绝对式光栅测量系统。绝对式编码光栅传感器读数结构采用线阵CCD显微成像测量方式进行刻划码道上绝对编码的辨识，通过显微成像获取该位置的绝对编码信息，基于FPGA实现对该绝对位置信息的高速节解码。
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