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The Barrier Properties of SiOx,SiON Coatings Deposited by PECVD on PET Plastic Surfaces
【机 构】
：
Laboratory of Plasma Physics and Materials,Beijing Institute of Graphic Communication,Beijing 102600
【出 处】
：
The 8th Asian-European International Conference on Plasma Su
【发表日期】
：
2011年期
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