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为提高检漏效率和准确度，克服普通He喷枪的不确定性，本文提出了可控喷枪的一些设计思想和应用方法，主要通过控制气源的压力，喷气时间，喷出气体的流向等，制成持续喷枪和断续喷枪，实现接近理想喷枪的状态。
氦质谱检漏用可控喷枪的设想
【摘 要】
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为提高检漏效率和准确度，克服普通He喷枪的不确定性，本文提出了可控喷枪的一些设计思想和应用方法，主要通过控制气源的压力，喷气时间，喷出气体的流向等，制成持续喷枪和断续喷枪
【机 构】
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北京哲勤科技有限公司 100176
【出 处】
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中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会
【发表日期】
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2011年期
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