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氧化锌材料具有优异的光电特性，易于掺杂，近年来一直是半导体材料领域关注的热点.YZO薄膜具有紫外辐射强、透过率高、电阻率低等特点，在短波长发光、平板显示、太阳电池等光电器件领域有广阔的应用前景[1-3].
溅射气压对YZO薄膜光电特性影响研究
【摘 要】
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氧化锌材料具有优异的光电特性，易于掺杂，近年来一直是半导体材料领域关注的热点.YZO薄膜具有紫外辐射强、透过率高、电阻率低等特点，在短波长发光、平板显示、太阳电池等光电器件领域有广阔的应用前景[1-3].
【机 构】
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山东大学物理学院,山东济南山大南路27号 250100
【出 处】
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中国物理学会2013年秋季学术会议
【发表日期】
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2013年11期
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