【摘 要】
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基于粘滑驱动原理的压电驱动器因具有精度高、行程大和无电磁干扰等特点,在微纳加工、精密科学仪器、微操作机器人等领域得到了广泛应用。为了在紧凑的尺寸下获得较大的行程
【基金项目】
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吉林省科技发展计划项目(20160204054GX);吉林省教育厅“十三五”科学技术研究项目(JJKH20181037KJ);国家自然科学基金面上项目(51775130)
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基于粘滑驱动原理的压电驱动器因具有精度高、行程大和无电磁干扰等特点,在微纳加工、精密科学仪器、微操作机器人等领域得到了广泛应用。为了在紧凑的尺寸下获得较大的行程范围和较高的速度,本文提出了一种基于寄生运动的菱形柔性铰链压电粘滑直线驱动器。该驱动器采用菱形柔性铰链机构,既放大了侧向位移又易于产生寄生运动。文中讨论了所提出驱动器的工作原理,采用有限元仿真与理论计算两种方法验证了柔性铰链机构对侧向位移的放大结果,并制作原型样机,开展了样机输出特性测试。实验结果表明,在100 Vp-p,频率为570 Hz的锯齿波电压激励下,该样机最大速度达到了13.08 mm/s。在负载为135 g,速度为7.12 mm/s时,最大效率约为1.26%。
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