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本文采用直流磁控溅射方法,改变溅射功率和溅射气压,在不锈钢基底上制备了金属Nb薄膜.分别采用XRD和傅立叶红外光谱仪对不同工艺参数下薄膜结构参数和红外反射谱进行了测试.讨论了工艺参数、晶体结构参数与红外反射特性之间的关系,分析了影响红外反射特性的原因.结果表明,在不同工艺条件下制备的Nb膜均为面心立方结构,且呈现很强的(110)结晶取向,溅射功率和溅射气压均会通过影响溅射过程、薄膜结构、致密度和表面形态而影响薄膜的红外反射率.