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研究了氮化气源的性能及种类对合成氮化硅粉的影响，结果表明：以氨为氮化气源最理想，且气体在入氮化炉之前必须经净化处理。
用稻壳合成氮化硅超微粉的最佳气源
【摘 要】
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研究了氮化气源的性能及种类对合成氮化硅粉的影响，结果表明：以氨为氮化气源最理想，且气体在入氮化炉之前必须经净化处理。
【机 构】
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理工大学冶金系
【出 处】
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'97中国青年冶金学术会议
【发表日期】
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1997年期
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