CVD法制备单根磷掺杂P型ZnO纳米线

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本文采用化学气相沉积法(CVD)制备了磷掺杂p型ZnO纳米线,并且用扫描电子显微谱(SEM),拉曼谱(RM),X光衍射谱(XRD)以及光致发光谱对其性质进行表征;通过"lift-off"法制备了单根磷掺杂ZnO纳米线的场效应管,并对其电学性质进行表征,纳米线的载流子浓度和迁移率分别为1.51×109cm-1和0.803 cm2/(VS)。
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