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本文利用紫外光刻的技术制备了具有一定微观结构的自织装单分子膜,结合利用化学浴的方法,以EDTA为络合齐,Cu5SO4 5H2O和Na2S2O3为前驱体溶液制备了图案化Cu2S纳米薄膜。利用FESEM、SEM及紫外可见分光光度计研究了不同沉积时间对Cu2S纳米品粒大小、图案形貌及其光学性能的影响。