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TiSiN多层超硬薄膜的制备及增强机制研究

来源 :第九届全国表面工程大会暨第四届全国青年表面工程论坛论文集 | 被引量 : 0次 | 上传用户：nankaizhizhuan

【作 者】

：

张玉娟  杨莹泽  翟玉浩  张平余 

【出 处】

：

第九届全国表面工程大会暨第四届全国青年表面工程论坛论文集

【发表日期】

：

2012年10期

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