【摘 要】
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在纯氧气体情况下,对射频放电产生O(a)进行了实验研究.射频频率是13.56MHz,额定功率500W,纯氧的放电压力133-266Pa,氧气流量7.44×10~0.148mmol/s.O(a)产率随射频注入功率的增加而提高,最佳的O(a)产率约为19﹪.
【机 构】
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大连化学物理研究所(辽宁大连) 大连理工大学(辽宁大连)
【出 处】
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第七届全国激光科学技术青年技术交流会
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在纯氧气体情况下,对射频放电产生O<,2>(a)进行了实验研究.射频频率是13.56MHz,额定功率500W,纯氧的放电压力133-266Pa,氧气流量7.44×10<-3>~0.148mmol/s.O<,2>(a)产率随射频注入功率的增加而提高,最佳的O<,2>(a)产率约为19﹪.
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