【摘 要】
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1852年英国的Grove和1858年德国的Plucker分别在实验中发现通过溅射来沉积镀膜的方法.屈指算来溅射镀膜有100多年的历史.从上世纪六七十年代到目前,该项技术得到了前所未有的发展与应用.经过40-50年国内外专家的努力,在磁控溅射镀膜领域展开一系列研究,包括:靶材、基材、反应气体、阴极磁场分布强度、溅射电源等,并取得详细的数据,建立起相应的数据库.对透明导电薄膜、DLC硬质薄膜、AF功
【机 构】
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广州市光机电技术研究院 香港生产力促进局
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1852年英国的Grove和1858年德国的Plucker分别在实验中发现通过溅射来沉积镀膜的方法.屈指算来溅射镀膜有100多年的历史.从上世纪六七十年代到目前,该项技术得到了前所未有的发展与应用.经过40-50年国内外专家的努力,在磁控溅射镀膜领域展开一系列研究,包括:靶材、基材、反应气体、阴极磁场分布强度、溅射电源等,并取得详细的数据,建立起相应的数据库.对透明导电薄膜、DLC硬质薄膜、AF功能薄膜、太阳能吸收薄膜、光学薄膜、各种金属薄膜,金属氧化物薄膜、金属氮化物等复合薄膜都有制作开发经验,具有完整的工艺技术储备.
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