【摘 要】
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本文采用三步共蒸发方法，在不锈钢衬底上低衬底温度生长不同厚度的多晶CIGS薄膜，利用台阶仪、X射线荧光光谱(XRF)表征薄膜的厚度、成分，X射线衍射(XRD)、SEM及Hall测试研究薄膜厚度对薄膜结构和电学特性的影响。XRD结果表明，不同厚度的CIGS薄膜内部有Fe及Fe-Ni合金相存在，说明在450℃时已有一定量的Fe杂质向CIGS薄膜中扩散;GIXD分析表明，随着薄膜厚度的减少，Fe向薄膜袁
【机 构】
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南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津 300071
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本文采用三步共蒸发方法，在不锈钢衬底上低衬底温度生长不同厚度的多晶CIGS薄膜，利用台阶仪、X射线荧光光谱(XRF)表征薄膜的厚度、成分，X射线衍射(XRD)、SEM及Hall测试研究薄膜厚度对薄膜结构和电学特性的影响。XRD结果表明，不同厚度的CIGS薄膜内部有Fe及Fe-Ni合金相存在，说明在450℃时已有一定量的Fe杂质向CIGS薄膜中扩散;GIXD分析表明，随着薄膜厚度的减少，Fe向薄膜袁面扩散程度加强;Hall测试表明，对于相同工艺务件下制备的不同厚度CIGS薄膜的载流子浓度差别不大。通过J-V测试，以不锈钢为衬底，直接低温沉积CIGS薄膜制备的电池效率达到8.9％，同批玻璃衬底电池效率为11.1％，分析了电池参数与薄膜厚度之间的关系。
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晶体硅太阳电池的背面钝化是下一代高效低成本太阳电池研发的热点。本文主要论述背面钝化的晶体硅太阳电池的关键理论和工艺，包括理论研究的方法、硅片背面钝化方式、硅片内背表面光学增反射设计、背面局域接触电极制备方法以及背面电极的烧结方式等。
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工作温度对太阳能电池伏安特性有着非常重要的影响。一般来说，相同的日照强度下，温度升高，则太阳能电池的短路电流升高，开路电压、功率以及效率下降;温度下降，则反之。故光伏系统工程在设计时应对电池片温度变化添加温度修正系数。本文阐述了一种适用于国际标准的非晶硅薄膜太阳能电池温度系数测量方法。并对测试结果进行了归纳和分析，总结了单结和双结非晶硅薄膜太阳能电池各个参数对温度响应的敏感程度，并针对各个参数给出
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