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基于二氧化钛的光催化与光电转换的研究一直十分活跃。由于TiO2的禁带宽度较大（Eg = 3.0~3.2eV），只能被400nm以下的紫外光激活，为了提高二氧化钛薄膜对可见光的利用率，已经进行过许多尝试，如利用有机染料敏化、通过贵金属(银、铂)修饰以及过渡金属(如钒、钨、铬、铁)和非金属(氮，碳)掺杂等，Khan等通过煤气火焰加热Ti金属的方法制备了具有可见光响应的n型TiO2-xCx 薄膜，显著改变了可见光的吸收性能。本文通过反应磁控溅射的方法在Ar/O2气氛中制备了碳掺杂的纳米TiO2薄膜并研究了其在可见光下的光电活性。