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刀具离子镀膜设备—ＴｉＮ ＴｉＣ真空离子镀膜机
【机 构】
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北京仪器厂
【出 处】
：
中国电子学会生产技术分会第五届金属材料及热处理年会
【发表日期】
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1993年期
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