四界面耦合谐振反射器加工过程中的检测

来源 :南京理工大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:zzdlily_8000
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本文提出了一种光胶盘补尝检测F—P标准具平行平板的新方法。该方法的特点是:可以检测小口径、小楔角的平板玻璃,在加工过程中不下盘就可检测面形和楔角。由于采用了光胶盘,不仅提高了面形的加工检测精度,而且可以扩充检测小楔角的范围。有利于这种难度较大的光学零件的批量加工和检测。 In this paper, we propose a new method to compensate the F-P et al. The method is characterized by: can detect small caliber, small wedge angle plate glass, no less than the plate can be detected during processing the surface shape and wedge angle. As a result of the use of optical plastic disc, not only improve the accuracy of the processing of surface shape, but also to expand the scope of detection of small wedge angle. Conducive to the more difficult the bulk processing and testing of optical components.
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