深紫外LED及MOCVD设备的开发

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【摘要】

：

<正>Ⅲ-Ⅴ族铝镓氮化合物半导体(AlGaN)随着其中铝(A1)组份的增加,其相应LED的发光波长可覆盖203-360nm的光谱,这包括了A-型紫外线(UVA:380-315nm),B-型紫外线(UVB:3 1 5-280

【作者】

：

高英张国华周瓴纪小丽武帅

【机构】

：

青岛杰生电气有限公司; 南京大学电子科学与工程学院;

【发表日期】

：

2004年期

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<正>Ⅲ-Ⅴ族铝镓氮化合物半导体(AlGaN)随着其中铝(A1)组份的增加,其相应LED的发光波长可覆盖203-360nm的光谱,这包括了A-型紫外线(UVA:380-315nm),B-型紫外线(UVB:3 1 5-280nm),和C-型紫外线(UVC:280-200nm)。其应用领域涉及到医疗器械、水处理、空气消毒、高分子聚合物固化、防伪、军事通信等等。美国和日本在氮化物深紫外LED的研发一直处于领先,美国公司

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