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偏振散射光量测技术是一个非常有效的技术可以用来侦测晶圆表面上的附着微粒、缺陷和表面粗糙度等。工研院量测中心成功的发展出一套多方位的光学偏振散射光量测系统，可以有效的量测附着在晶圆表面上的纳米微粒和晶圆表面粗糙度。自行设计一个可四个角度旋转的多方向调整机构来量测由晶圆表面或表面上纳米微粒所发出的偏振散射光，再经由此散射光的Mueller矩阵来计算和分办纳米微粒的粒径大小或晶圆表面粗糙度，其可量测的微粒直径范围为50 nm～350 nm，并可承载4～8寸的晶圆进行量测。