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Plasma CVD of Carbon Films Using Monomers with Functional Groups
【机 构】
：
InternationalInnovationCenter,KyotoUniversity,Nishikyo-Ku,Kyoto615-8520DepartmentofElectronicScience
【出 处】
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9th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology
【发表日期】
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2008年10期
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