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超导薄膜的微波表面阻抗Zs =Rs+iωμ0λ 是它的一个重要性能指标，它不仅表征超导薄膜的微波表面损耗的性能，还可以得到磁穿透深度和超导能隙的有关信息，精密测量这一参数对于了解材料的物理和其他特性，发展新材料和设计超导微波元件都有重要意义.本文所用的测试方法为蓝宝石介质谐振器法，它采用一片超导薄膜替代谐振器的一端，通过测量介质谐振腔随温度变化的固有品质因数和谐振频率来确定超导薄膜的微波表面阻抗.本文中制作了一个工作频率在18.3GHz 左右的蓝宝石介质谐振器，利用TE01δ 模式测量超导薄膜的微波表面阻抗，固有品质因可数达到120000.并且构建了自动测试系统，可以测量直径为10mm 以上、28mm 以下的低温或者高温超导薄膜.用此方法可以对薄膜进行无损伤测量，测量后的薄膜还可继续使用.