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利用非反应磁控共溅射技术,通过改变Ni靶的溅射功率,得到不同Ni含量的Si-C-Ni复合涂层。通过EDS对其成分,利用SEM、TEM和Raman对其结构进行了表征。同时,利用纳米压痕仪对其力学性能进行了研究。结果表明:制备的Si-C-Ni涂层均为致密的非晶结构,并且随着Ni含量的增加(0%~12.5 at.%),涂层的硬度由29GPa下降到20 GPa。涂层中Ni含量为12.5 at.%时,Si-C-Ni涂层形成了一种富Si C相和富Ni Six相互联的微观结构。此时纳米划痕实验表明,涂层的韧性也有一定的提高。两相互联的纳米结构可能是涂层同时具有20 GPa硬度和韧性改善的主要原因。